工艺流程
1、施工准备 净化车间内应设置总配电柜,由总配电箱向各分室配出电源线,然后由分室配电屏(台)将动力线和照明线分开。
2、净化车间地面要求 洁净度级别为十万级或万级的净化厂房的地面必须平光无尘土和杂物。
3、门窗安装

(1)洁净区与非洁净区的门应有明显标志;

(2)洁净区与非洁净区的隔断材料应用不产生静电的材料;

(3)非单向流空气流的门应为密闭型;

(4)单向流的门应装有观察窗及可调节百叶窗以调节气流的流向;

(5)门的密封性要好,开启灵活,关闭严密牢固。
4、吊顶

(1)顶棚结构:采用轻钢龙骨石膏板罩面板结构时,其厚度不应小于10mm.

(2)吊顶内的管灯风口等应在吊顶下隐蔽敷设或用阻燃硬质塑料管保护起来;

(3)空调机组的送风管道不得穿越顶棚或吊在顶棚上。

5、墙柱面

(1)墙面:宜用防潮耐腐蚀的硅酸钙板饰面或其他符合防火要求的装饰材料作饰面层。
墙面与地面的夹角宜大于45°,并应有可靠的防水处理措施。
(2)柱面:可采用轻钢龙骨水泥砂浆抹灰刷白做饰面的轻质墙体结构形式进行装修处理,也可用矿棉吸声板等吸声性能好的板材作饰面板装修处理。
(3)室内所有需要包封的地方均须采用阻燃型玻璃纤维增强水泥制品作为填充材料进行包封。
(4)墙体的垂直允许偏差为5毫米/米
6、地坪

(1)地板:选用耐磨强度易清洁的环氧树脂自流平地板或复合木地板铺设地面;

(2)地毯:应选用经阻燃处理的针刺毯铺贴于地面上;

(3踢脚板的安装高度一般为100毫米~150毫米;

(4有排水要求的房间地面四周应设置排水沟;

(5)地漏的设置位置要便于排水且不易被污染。
(6有酸碱腐蚀性气体的房间地面不宜铺设玻化砖或无釉瓷砖
7、设备间

1)设备间的墙壁及天花板均应用不产生静电花的导电腻子粉刷一遍以上(包括天花);

2)各种设备的金属外壳均需接地良好;

(3)各种电气装置和控制线路都应按设计要求接至相应的控制开关箱内;

(4)电气线路的安装要确保安全可靠并整齐美观
8、辅助用房

9、生产管理

10、办公